XP-703DIII測漏檢測(半導(dǎo)體用)參數(shù):
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型號 |
XP-703DⅢ |
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檢測對象氣體 |
H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3 |
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檢測原理 |
專線型半導(dǎo)體式 |
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采集方式 |
自動吸引式 |
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可檢測泄漏量 |
H2 :5.07×10-7、AsH3 :2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3:1.52×10-7 |
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可檢測濃度 |
H2 :5.07×10-7、AsH3 :2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3:1.52×10-7 |
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反應(yīng)時間 |
10秒以內(nèi) |
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顯示方式 |
液晶數(shù)字(手動背景燈) |
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電源(額定) |
5號堿性干電池(LR6) 2節(jié) |
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電池使用時間※1 |
約12小時(5號堿性干電池、25℃時) |
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保護(hù)等級※2 |
相當(dāng)于IP22※3 |
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使用壓力范圍 |
大氣壓(800~1100kpa) |
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使用溫濕度范圍 |
0~40℃/85%RH以下(但不能結(jié)露) |
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外形尺寸 |
W38×H130×D32㎜(突出部分除外) |
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重量 |
約190g(包括電池、皮套) |
